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Products

Micro LED 全自动激光去除设备
OVERVIEW

产品简介

Micro LED 全自动激光去除设备

此设备⽤于Micro LED针对制程后产⽣的缺陷进⾏封装胶及芯⽚去除,以利后续芯⽚的焊接等后续制程的顺利进⾏, 该设备⽬前达到业界领先⽔平。

  • Micro LED 全自动激光去除设备
  • 激光修复前→激光除晶后→激光修复后
    激光修复前→激光除晶后→激光修复后
ADVANTAGE

产品优势

  • ⽤于MicroLED芯⽚去除以及焊盘整平兼容不同尺⼨的芯⽚和基板,整平精度可达亚微⽶级
  • 匹配微⽶级光斑对⼩⾄5μm的MicroLED的芯⽚胶进⾏去除,不伤及相邻芯⽚及焊盘与其他层
  • 透过⾃主开发的AI整合系统,⾃动识别修补位置,避免因误判造成的修补失败,保证产品安全
  • 基本信息
    • 设备尺寸:长1500mmx宽1900mmx高2137mm
    • 最大行程:X轴450mm x Y轴1050mm
    • 设备重量:3000Kg
    • 加工类型:激光去除
  • 产品性能
    • 加工精度:±1μm
    • 加工基板大小:≤370x470mm
    • 加工晶片大小:≥10x25μm
    • 光学系统:紫外飞秒激光器

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